光路ズレ検知装置、および共焦点顕微鏡

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：古谷史旺
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000127242
Publication number (International publication number)：2001324678
Application date： Apr. 27, 2000
Publication date： Nov. 22, 2001
Summary：

【要約】【課題】被検光路の光路ズレをシフト/チルトに区分して検知することが可能な光路ズレ検知装置を実現する。【解決手段】被検光路から光を採取して、採取した光を少なくとも2つの光路に分岐する分岐手段(51,52)と、分岐手段の各分岐先に互いに異なる光路長をおいて受光面をそれぞれ配置して受光面上の受光位置をそれぞれ検出する光検出手段(26,53,54,55)とを備え、光検出手段によりそれぞれ検出された受光位置の相違分から被検光路のチルトを検知し、その相違分を除いた後の受光位置の共通分から被検光路のシフトを検知することを特徴とする。また、分岐手段(例えばハーフミラー)で発生する迷光を、入射制限手段や反射制限手段を二重に備えることにより確実に低減する。その結果、光路ズレ検知装置の検知精度を高めることが可能となる。

Claim (excerpt)：

被検光路のズレを検知するための装置であって、前記被検光路から光を採取して、少なくとも2つの光路に分岐する分岐手段と、前記分岐手段の各分岐先から互いに異なる光路長を離して受光面がそれぞれ配置され、前記受光面上の受光位置をそれぞれ検出する光検出手段とを備え、前記光検出手段によりそれぞれ検出された受光位置の相違分から前記被検光路のチルトを検知し、その相違分を除いた後の受光位置の共通分から前記被検光路のシフトを検知することを特徴とする光路ズレ検知装置。

F-Term (9)：

2H052AA08 , 2H052AB24 , 2H052AB25 , 2H052AC04 , 2H052AC14 , 2H052AC15 , 2H052AC34 , 2H052AD32 , 2H052AD36

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

露光光学装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-172208 Applicant：ソニー株式会社
特開平4-174315
特開昭62-273503

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