Pat
J-GLOBAL ID:200903098415235246

近接場光検出光学系、近接場光学装置、およびそれらを用いた光学情報の検出方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 鈴江 武彦 (外5名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000200259
Publication number (International publication number):2002014028
Application date: Jun. 30, 2000
Publication date: Jan. 18, 2002
Summary:
【要約】【課題】 ノイズレベルが低く鮮明な光学コントラストが得られる近接場光検出光学系を提供し、光記録再生装置および近接場光学顕微鏡の再生分解能を向上する。【解決手段】 先端に光学開口とその周囲を被覆する反射体が設けられた光学プローブ(8)と、直線偏光の光ビームを光学プローブ(8)を導波させ、光学開口から近接場光を生成させて被検体(9)表面に入射する手段と、被検体(9)からの反射光を光学開口から光学プローブ(8)を通じて検出素子(13)に導く手段と、検光子(12)を備えた検出素子(13)とを有する。
Claim (excerpt):
先端に光学開口とその周囲を被覆する反射体が設けられた光学プローブと、直線偏光の光ビームを、前記光学プローブを導波させ、前記光学開口から近接場光を生成させて被検体表面に入射する手段と、前記被検体からの反射光を、前記光学開口から前記光学プローブを通じて検出素子に導く手段と、検光子を備えた検出素子とを具備したことを特徴とする近接場光検出光学系。
IPC (6):
G01N 13/14 ,  G01N 13/10 ,  G02B 21/00 ,  G11B 7/135 ,  G11B 11/105 551 ,  G11B 11/105 566
FI (7):
G01N 13/14 A ,  G01N 13/10 G ,  G02B 21/00 ,  G11B 7/135 Z ,  G11B 7/135 A ,  G11B 11/105 551 A ,  G11B 11/105 566 C
F-Term (15):
2H052AA07 ,  2H052AC04 ,  2H052AC15 ,  2H052AC26 ,  2H052AC34 ,  2H052AD20 ,  2H052AF13 ,  2H052AF25 ,  5D075AA03 ,  5D075CD14 ,  5D119AA12 ,  5D119BB01 ,  5D119BB04 ,  5D119BB05 ,  5D119JA34
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)

Return to Previous Page