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J-GLOBAL ID：200903098424790899

液膜厚さ計測装置

Inventor： 新留 徳治
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 波多野 久 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992064907
Publication number (International publication number)：1993264207
Application date： Mar. 23, 1992
Publication date： Oct. 12, 1993
Summary：

【要約】【目的】液膜厚さの較正作業が不要で、且つリアルタイムに液膜厚さを測定可能な液膜厚さ計測装置を提供すること。【構成】複数の電極4をそれぞれ絶縁物3を介して液膜流路と同一面に設置した液膜測定用素子1と、この液膜測定用素子1と同一の素子上に一定の厚さの液膜を形成する流路を設け、且つ一定の厚さの液膜に相当する計測信号を得る較正用液膜測定素子5とを併設し、液膜測定用素子1および較正用液膜測定素子5を同一の環境に設置したものである。

Claim (excerpt)：

複数の電極をそれぞれ絶縁物を介して液膜流路と同一面に設置した液膜測定用素子と、この液膜測定用素子と同一の素子上に一定の厚さの液膜を形成する流路を設け、且つ上記一定の厚さの液膜に相当する計測信号を得る較正用液膜測定素子とを併設し、上記液膜測定用素子および較正用液膜測定素子を同一の環境に設置したことを特徴とする液膜厚さ計測装置。

IPC (3)：

G01B 7/06 ,  G01B 7/00 ,  G01N 27/06