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J-GLOBAL ID：200903098431152806

薬液処理装置

Inventor： 田中 和好 ,  坪香 智昭
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 武 顕次郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992003304
Publication number (International publication number)：1993190442
Application date： Jan. 10, 1992
Publication date： Jul. 30, 1993
Summary：

【要約】【目的】1つの薬液処理装置で処理した複数の廃液を別々に排出回収する。【構成】薬液処理装置を構成する処理カップを外側カップ1と内側カップ2とで二重化し、第1薬液での処理と第2薬液での処理に伴う各廃液を第1カップ1と第2カップ2とに分離して収容し、それぞれのカップから廃液を排出する。【効果】廃液が別々に高精度で回収されることにより、現像では廃液処理が容易となり、処理液の再利用が可能となり、また廃液処理設備を簡素化できる。

Claim (excerpt)：

ウェハを載置して回転可能なウェハチャックを内裝し、前記ウェハチャックに載置したウェハに順次異なる薬液を適用して前記ウェハを回転させ、前記適用した薬液の振り切り操作を施すことで、それぞれ異なる処理を行う薬液処理装置において、前記薬液処理装置を前記ウェハを内包する位置と前記ウェハを外部に露呈する位置とで位置移動する内側カップと、前記内側カップを収容して前記内側カップから露呈した前記ウェハを内包する外側カップとから構成し、前記処理後の異なる薬液を前記内側カップと前記外側カップの一方に回収可能として前記異なる薬液を別々に回収する構成したことを特徴とする薬液処理装置。

IPC (4)：

H01L 21/027 ,  B05C 11/08 ,  G03F 7/16 502 ,  G03F 7/30 502