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J-GLOBAL ID：200903098448451793

ダイヤモンド結晶の成長方法

Inventor： 岡田 守弘 ,  河野 巧 ,  沖田 拓士 ,  杉浦 勉 ,  佐藤 眞樹
Applicant, Patent owner： 新日本製鐵株式会社 ,  新日鐵化学株式会社
Agent (1)： 井上 雅生
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992129902
Publication number (International publication number)：1993148088
Application date： Apr. 24, 1992
Publication date： Jun. 15, 1993
Summary：

【要約】【目的】 欠陥の少ない結晶ダイヤモンドの成長方法を提供する。【構成】 ダイヤモンドの気相成長において、周波数1メガヘルツ以上10テラヘルツ以下の振動を、基板もしくはダイヤモンド結晶の成長面に与えながら成長させるダイヤモンド結晶の成長方法。【効果】 欠陥の少ない良質なダイヤモンド、特に膜厚の厚いダイヤモンドエピタキシャル膜を気相合成でき、光学窓材料、ダイヤモンド電子材料等の用途が拓かれる。

Claim (excerpt)：

ダイヤモンド結晶の気相合成において、周波数1メガヘルツ以上10テラヘルツ以下の振動を、ダイヤモンド結晶を成長させる基板、もしくはダイヤモンド結晶の成長面に与えながら該結晶を成長させることを特徴とするダイヤモンド結晶の成長方法。

IPC (3)：

C30B 29/04 ,  C01B 31/06 ,  C30B 25/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平3-005314
  
• 特開平1-317112
  
• 特開平2-034509