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J-GLOBAL ID:200903098452232311
物体へのパターン転写装置
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
吉武 賢次 (外6名)
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2001568134
Publication number (International publication number):2003527248
Application date: Mar. 14, 2001
Publication date: Sep. 16, 2003
Summary:
【要約】スタンプ(1)から物体(2)へのパターン、特にミクロ構造ないしナノ構造の転写装置であって、前記スタンプ(1)のための受け面(13)を有する第1の接触手段(11)と、前記物体(2)のための受け面(23)を有する第2の接触手段(20)とを具備している。押圧手段(10)が、前記スタンプ(1)を前記物体(2)と接触させるために前記接触手段(11,20)の少なくとも一方を作動させるように構成されている。一方の前記接触手段(11,20)は、ベース(21)とホルダ(22)とを備えている。そのホルダ(22)は、前記受け面の一方(23)を画成する第1端部と、その反対側の第2端部とを有している。この第2端部は、前記スタンプ(1)と前記物体(2)とが相互に接触する際に自動的に互いに平行な位置に置かれるよう、前記ベース(21)に対して回動自在に連結されている。
Claim (excerpt):
スタンプ(1)から物体(2)へのパターン転写装置であって、前記スタンプ(1)のための受け面(13)を有する第1の接触手段(11)と、前記物体(2)のための受け面(23)を有する第2の接触手段(20)と、前記スタンプ(1)を前記物体(2)と接触させるために前記接触手段(11,20)の少なくとも一方を作動させるように構成された押圧手段(10)とを具備した転写装置において、 前記第1および第2の接触手段(11,20)のうちの一方はベース(21)とホルダ(22)とを備え、そのホルダ(22)は、前記受け面の一方(23)を画成する第1の端部と、第2の反対側の端部とを有し、この反対側の端部は、前記スタンプ(1)と前記物体(2)とが相互に接触する際に自動的に互いに平行な位置に置かれるよう、前記ベース(21)に対して回動自在に連結されている、ことを特徴とする物体へのパターン転写装置。
IPC (2):
FI (3):
B81C 1/00
, B41K 3/04 A
, B41K 3/04 Z
Patent cited by the Patent:
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