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J-GLOBAL ID：200903098480357367

静電型エンコーダ及び静電型変位測定方法

Inventor：
権藤 雅彦

About 権藤 雅彦


Applicant, Patent owner：
オリンパス株式会社

About オリンパス株式会社


Agent (4)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  村松 貞男 ,  風間 鉄也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004032016
Publication number (International publication number)：2005221472
Application date： Feb. 09, 2004
Publication date： Aug. 18, 2005
Summary：
【課題】移動体の測定を可能とするとともに、センサ部の薄型・小型化を図った速度応答性の良い静電型エンコーダを提供すること。【解決手段】静電型エンコーダを、電極12a,12bを有する移動子10と、誘導電極3a,3b及び電位検出電極4を有する固定子1と、上記固定子1の電位検出電極4の出力から2つの信号(REAL,IMAG)を成分とするベクトルを生成するベクトル生成回路20とから構成する。そして、上記固定子1の誘導電極3a,3bに電圧を印加し静電誘導により上記移動子10の電極12a,12bへ交番電位分布を発生し、その交番電位分布を上記固定子1の電位検出電極4で検出して上記ベクトル生成回路20により上記2つの信号を出力して、この2つの信号を成分とするベクトルの回転角から上記移動子10の上記固定子1に対する相対的な変位を測定する。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
電極を有する移動子と、 誘導電極及び電位検出電極を有する固定子と、 上記固定子の電位検出電極の出力から2つの信号を成分とするベクトルを生成するベクトル生成回路と、 を具備し、 上記固定子の誘導電極に電圧を印加し静電誘導により上記移動子の電極へ交番電位分布を発生し、その交番電位分布を上記固定子の電位検出電極で検出して上記ベクトル生成回路により上記2つの信号を出力して、この2つの信号を成分とするベクトルの回転角から上記移動子の上記固定子に対する相対的な変位を測定することを特徴とする静電型エンコーダ。
IPC (1)：
G01D5/245
FI (1)：
G01D5/245 J
F-Term (9)：
2F077AA33 ,  2F077NN03 ,  2F077NN04 ,  2F077NN05 ,  2F077NN14 ,  2F077PP01 ,  2F077QQ05 ,  2F077TT21 ,  2F077VV02
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2)
  • 特公平1-29409号公報
  • 特公平4-67881号公報
Cited by examiner (9)
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