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J-GLOBAL ID:200903098488525587

誘電体多層膜光フィルタおよびその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 大家 邦久 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997214240
Publication number (International publication number):1999052128
Application date: Aug. 08, 1997
Publication date: Feb. 26, 1999
Summary:
【要約】【課題】 誘電体蒸着膜層と樹脂基板の密着性が向上した低コストの誘電体多層膜光フィルタおよびその製造方法を提供する。【解決手段】(1)樹脂層がポリスチレン、非晶質ポリオレフィン、アクリル系重合体、ポリカーボネートなどの汎用的透明樹脂材料、透明接着層および屈折率の異なる誘電体多層膜を順次積層してなる誘電体多層膜光フィルタ、および(2)表面が平滑な仮基板上に樹脂薄膜基板を形成する工程、前記樹脂薄膜基板上にイオンアシスト蒸着法により屈折率の異なる誘電体を積層した誘電体多層膜を形成する工程、前記誘電体多層膜上に透明接着層を設けた後透明樹脂層を形成する工程、および前記樹脂薄膜基板と誘電体多層膜とを剥離する工程を有する誘電体多層膜光フィルタの製造方法。
Claim (excerpt):
透明樹脂層、透明接着層および屈折率の異なる誘電体多層膜を順次積層してなる誘電体多層膜光フィルタ。
IPC (8):
G02B 5/28 ,  B29D 11/00 ,  C23C 14/08 ,  C08L 23/00 ,  C08L 25/04 ,  C08L 33/04 ,  C08L 69/00 ,  C08L 79/08
FI (8):
G02B 5/28 ,  B29D 11/00 ,  C23C 14/08 N ,  C08L 23/00 ,  C08L 25/04 ,  C08L 33/04 ,  C08L 69/00 ,  C08L 79/08

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