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J-GLOBAL ID：200903098499304426

表面検査装置

Inventor： 林 正和 ,  内田 順三 ,  津村 明 ,  鄭 有成
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992139004
Publication number (International publication number)：1993332946
Application date： May. 29, 1992
Publication date： Dec. 17, 1993
Summary：

【要約】【目的】本発明は、被検査体に付着した微粒子の判別を行うとともに被検査体表面の状態も判別する。【構成】被検査体(1) に対し照射光学系から所定方向にレーザ光を照射すると、被検査体(1) に付着した微粒子(2,3) により散乱光が生じ、その光強度の高い方向に配置された第1光電変換手段(12,13) により散乱光が集光されてその強度に応じた第1電気信号が変換出力される。又、この集光された散乱光以外の散乱光、つまり被検査体(1) 又は微粒子(2,3) のいずれか一方又は両方により生じる散乱光が被検査体(1) の上方に配置された第2光電変換手段(18)により集光されてその強度に応じた第2電気信号に変換される。そして、これら第1及び第2電気信号に基づいて表面判別手段(25)により被検査体の表面状態が判別される。

Claim (excerpt)：

被検査体に対し所定方向からレーザ光を照射する照射光学系と、前記被検査体に対して所定角度方向に配置され前記被検査体に付着した微粒子により生じる散乱光を集光し、かつこの散乱光強度に応じた第1電気信号に変換する第1光電変換手段と、前記被検査体の上方に配置され前記被検査体又は前記微粒子のいずれか一方又は両方により生じた散乱光を集光し、かつこの散乱光強度に応じた第2電気信号に変換する第2光電変換手段と、これら第1及び第2光電変換手段からの第1及び第2電気信号に基づいて前記被検査体の表面状態を判別する表面判別手段とを具備したことを特徴とする表面検査装置。

IPC (5)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/47 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66