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J-GLOBAL ID：200903098503944745

ペースト塗布機

Inventor： 石田 茂 ,  川隅 幸宏 ,  齊藤 正行 ,  米田 福男 ,  三階 春夫
Applicant, Patent owner： 日立テクノエンジニアリング株式会社
Agent (1)： 武 顕次郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996142870
Publication number (International publication number)：1997323056
Application date： Jun. 05, 1996
Publication date： Dec. 16, 1997
Summary：

【要約】【課題】 ペースト収納筒の交換に伴うノズルのペースト吐出孔の位置ずれを検出し、それを補正して基板の所望位置に正確にペーストパターンを形成できるようにする。【解決手段】 ペースト収納筒13の交換があると、これに設けられているノズル13aに治具27が取り付けられる。この治具の下面には、ノズル13aのペースト吐出孔の位置を擬似的に示す擬似表示マークが設けられている。ノズル13aを移動させて治具27が画像認識カメラ16aの視野内に入る所定の位置に設定し、画像認識カメラ16aでこの治具27を撮像して、この視野内での擬似表示マークの重心位置と基準位置とのずれ量を検出する。そして、基板28を位置設定してノズル13aを基板28のペースト塗布開始位置に移動させる際に、この移動量を検出されたこのずれ量分修正する。

Claim (excerpt)：

ペースト収納筒に収納されたペーストを吐出するペースト吐出孔が下方先端に設けられたノズルと対向させて基板を所定の位置に設定し、該ペースト吐出孔から該ペーストを吐出させつつ該基板に対し該ノズルを移動させて該基板上に該ペーストを塗布し、所望形状のペーストパターンを形成するようにしたペースト塗布機において、該ノズルの位置調整のために該ノズルの先端に取り付けられた着脱可能な治具に設けられている該ペースト吐出孔の中心位置を模擬表示する模擬表示手段を画像認識し、該ペースト吐出孔の中心位置を計測する画像処理手段と、該画像処理手段によって計測された該ペースト吐出孔の中心位置とペースト吐出孔の中心位置が設定されるべき基準設定位置との偏差を検出し、検出された該偏差に応じて該基板に対する該ノズルの位置を調整する調整手段とを備えたことを特徴とするペースト塗布機。