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J-GLOBAL ID：200903098506408798
静電容量式湿度センサ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
吉田 俊夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993194178
Publication number (International publication number)：1995027733
Application date： Jul. 09, 1993
Publication date： Jan. 31, 1995
Summary：
【要約】【目的】 例えば60°C-90%RH、1000時間といった高温高湿環境条件下での安定性にすぐれた静電容量式湿度センサを提供する。【構成】 絶縁性基板上に下部電極、高分子感湿膜および上部電極を順次形成させた湿度センサにおいて、高分子感湿膜として芳香族ポリアミド薄膜が用いられ、更に好ましくは下部電極-芳香族ポリアミド薄膜間に配向されたポリイミド薄膜が形成される。
Claim (excerpt)：
絶縁性基板上に下部電極、高分子感湿膜および上部電極を順次形成させた湿度センサにおいて、高分子感湿膜として芳香族ポリアミド薄膜が用いられた静電容量式湿度センサ。
Patent cited by the Patent：
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