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J-GLOBAL ID：200903098537344348
ガルバノミラーおよびこれを用いた光ディスク装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
外川 英明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997283250
Publication number (International publication number)：1999119145
Application date： Oct. 16, 1997
Publication date： Apr. 30, 1999
Summary：
【要約】【課題】従来のガルバノミラーは質量が大きく、光学ヘッドの高速シークが阻害されてしまっていた。【解決手段】本発明のガルバノミラー9 は第1のプレート21,第2のプレート22の2つのプレートが積層された構造をなしている。第1のプレート21には固定部24、揺動部25、および2枚の弾性部26a,26b からなり、シリコンを主体とする半導体の異方性エッチングにより一体成形されている。また第2のプレート22は、例えばガラス板等の電気的絶縁材料で形成され、第1のプレート21の固定部24に対して静電接合等の手段で接合されている。さらに揺動部25は、一方にミラー面31が、他方に絶縁膜32が形成されており、ミラー面31は金属膜や誘電体多層膜等、絶縁層32は酸化シリコンからなっている。
Claim (excerpt)：
反射ミラーを備えた揺動体と、一端が前記揺動体に接続され、前記揺動体を揺動可能に吊設支持する一対の支持部材と、前記支持部材の他端が接続されるとともに前記揺動体と対向配置される固定部と、前記揺動体を静電力で駆動するための電極と、を有するガルバノミラーにおいて、前記揺動体の前記反射ミラーが形成された面の反対面に、前記揺動体の熱膨張率に対する前記反射ミラーの熱膨張率の大小関係と同じ関係となるような熱膨張率の絶縁膜が設けられていることを特徴とするガルバノミラー。
IPC (2)：
G02B 26/10 104
, G11B 7/09
G02B 26/10 104 A
, G11B 7/09 E
