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J-GLOBAL ID：200903098545773690

ジャイロ装置

Inventor： 塩沢 龍雄 ,  前中 一介
Applicant, Patent owner： 多摩川精機株式会社
Agent (1)： 曾我 道照 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992127403
Publication number (International publication number)：1993322579
Application date： May. 20, 1992
Publication date： Dec. 07, 1993
Summary：

【要約】【目的】 本発明はジャイロ装置に関し、特に、断面四角形の振動子の各壁面に対応する検出電極から得られる静電容量の変化により入力角速度を検出することを特徴とする。【構成】 本発明によるジャイロ装置は、支持部材(2)に振動自在な状態で支持され断面四角形をなす振動子(1)を用い、この振動子(1)と対応する検出電極(3,4)を振動子と共にシリコン基板で構成し、静電容量の変化により入力角速度を検出する構成である。

Claim (excerpt)：

支持部材(2)に振動自在な状態で支持され断面形状が四角形をなす振動子(1)と、前記振動子(1)の第1壁面(1b)に対応して平行な第1検出壁面(3a)を有する第1検出電極(3)と、前記振動子(1)の第2壁面(1c)に対応して平行な第2検出壁面(4a)を有する第2検出電極(4)と、前記各検出電極(3,4)を支持するための絶縁基板(30)とを備え、前記振動子(1)の前記各壁面(1b,1c)と前記各検出電極(3,4)間に存在する一対の静電容量の変化により入力角速度の検出を行うことを特徴とするジャイロ装置。

IPC (2)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭61-114123
  
• 特開昭57-160067
  
• 特開昭60-073414