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J-GLOBAL ID：200903098547211842

液晶表示装置とその製造方法

Inventor： 川崎 清弘
Applicant, Patent owner： 廣輝電子股▲ふん▼有限公司
Agent (1)： クオンタ・ディスプレイ・ジャパン株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003182107
Publication number (International publication number)：2005019664
Application date： Jun. 26, 2003
Publication date： Jan. 20, 2005
Summary：

【課題】従来の製造工程数を削減した製造方法ではチャネル長が短くなると製造裕度(マージン)が小さく歩留が低下する。【解決手段】走査線の形成工程とエッチストップ層の形成工程をハーフトーン露光技術の導入により合理化する新規技術と、公知技術であるソース・ドレイン配線の陽極酸化工程にハーフトーン露光技術を導入することで電極端子の保護層形成工程を合理化する新規技術と、公知技術である絵素電極と走査線とを同時に形成する合理化技術との技術の組合せによるTN型液晶表示装置とIPS型液晶表示装置の4枚マスク・プロセス、3枚マスク・プロセス案を構築する。【選択図】 図2

Claim (excerpt)：

絶縁基板の一主面上にゲート電極が形成され、前記ゲート電極の側面には絶縁層が形成されるとともに前記ゲート電極上には1層以上のゲート絶縁層と不純物を含まない第1の半導体層が形成され、前記第1の半導体層上に前記ゲート電極よりも幅細く保護絶縁層が形成され、前記保護絶縁層の一部上と第1の半導体層上と絶縁基板上に不純物を含む第2の半導体層と1層以上の金属層との積層よりなるソース・ドレイン配線が形成されていることを特徴とするボトムゲート型の絶縁ゲート型トランジスタ。

IPC (5)：

H01L21/336 ,  G02F1/1368 ,  H01L21/3213 ,  H01L21/768 ,  H01L29/786

FI (8)：

H01L29/78 627C ,  G02F1/1368 ,  H01L29/78 617L ,  H01L29/78 617J ,  H01L29/78 612C ,  H01L29/78 612D ,  H01L21/88 C ,  H01L21/90 P

F-Term (95)：

2H092GA14 ,  2H092GA50 ,  2H092JA26 ,  2H092JB56 ,  2H092KA05 ,  2H092KA12 ,  2H092KA18 ,  2H092KB24 ,  2H092KB25 ,  2H092MA08 ,  2H092MA14 ,  2H092NA27 ,  2H092NA29 ,  2H092QA06 ,  2H092QA07 ,  5F033GG04 ,  5F033HH08 ,  5F033HH10 ,  5F033HH17 ,  5F033HH18 ,  5F033HH20 ,  5F033HH21 ,  5F033HH22 ,  5F033HH26 ,  5F033HH29 ,  5F033HH30 ,  5F033HH38 ,  5F033JJ01 ,  5F033JJ38 ,  5F033KK08 ,  5F033KK10 ,  5F033KK18 ,  5F033KK21 ,  5F033MM05 ,  5F033MM08 ,  5F033QQ01 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ10 ,  5F033QQ25 ,  5F033RR03 ,  5F033RR06 ,  5F033RR22 ,  5F033RR27 ,  5F033SS15 ,  5F033SS26 ,  5F033SS30 ,  5F033TT08 ,  5F033VV06 ,  5F033VV15 ,  5F033XX00 ,  5F033XX02 ,  5F033XX10 ,  5F033XX33 ,  5F110AA16 ,  5F110AA28 ,  5F110BB01 ,  5F110CC07 ,  5F110DD02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE05 ,  5F110EE06 ,  5F110EE07 ,  5F110EE14 ,  5F110EE15 ,  5F110EE31 ,  5F110EE34 ,  5F110EE37 ,  5F110FF03 ,  5F110FF30 ,  5F110GG02 ,  5F110GG15 ,  5F110GG25 ,  5F110GG45 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK06 ,  5F110HK07 ,  5F110HK09 ,  5F110HK16 ,  5F110HK22 ,  5F110HK25 ,  5F110HK42 ,  5F110HL07 ,  5F110HM19 ,  5F110NN04 ,  5F110NN14 ,  5F110NN16 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN35 ,  5F110NN72 ,  5F110NN73 ,  5F110QQ02