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J-GLOBAL ID：200903098567985410

固体撮像装置およびその駆動方法

Inventor： 武藤 信彦
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 岩佐 義幸
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992188507
Publication number (International publication number)：1994037297
Application date： Jul. 16, 1992
Publication date： Feb. 10, 1994
Summary：

【要約】【目的】 表面照射型フレーム転送方式固体撮像素子の感度を向上させ、偽信号および雑音を低減させる。【構成】 バスライン111〜114をN型垂直電荷転送チャネル131〜134の近傍に設け、垂直電荷転送ゲート141〜144を薄膜化し、さらに凸レンズ群を設けることにより、光信号の集光率を高める。また、光信号の入射により光電変換を行い、かつ光電変換により発生した信号電荷を蓄積する期間において、N型垂直電荷転送チャネル131〜134の表面をピンニング状態とすることにより、リーク電流を低減し、偽信号および雑音を低減する。さらに、N型半導体基板に印加する電圧を制御することにより、光信号の入射により光電変換を行い、かつ光電変換により発生した信号電荷を蓄積する期間において、過剰な光信号が入射した場合に発生する過剰な信号電荷をN型半導体基板に排出し、ブルーミングと呼ばれる偽信号を防止する。

Claim (excerpt)：

光信号の入射により光電変換を行い、かつ光電変換により発生した信号電荷を蓄積および転送する撮像領域と、撮像領域から転送される信号電荷を蓄積および転送する蓄積領域と、蓄積領域から転送される信号電荷を順次出力する水平電荷転送レジスタとを備える表面照射型フレーム転送方式の固体撮像装置において、前記撮像領域は、チャネルストップにより区画形成された垂直電荷転送チャネル群と、垂直電荷転送チャネル群上に設けられ、水平方向に連続し、垂直電荷転送チャネル群と交差する垂直電荷転送ゲート群と、垂直電荷転送チャネル群を区画形成するチャネルストップ上に設けられ、信号電荷を転送するための駆動パルス電圧を垂直電荷転送ゲート群に供給するバスライン群とを備えることを特徴とする固体撮像装置。

IPC (3)：

H01L 27/148 ,  H01L 21/339 ,  H01L 29/796

FI (3)：

H01L 27/14 B ,  H01L 29/76 301 B ,  H01L 29/76 301 F