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J-GLOBAL ID：200903098593824441

感放射線性樹脂組成物

Inventor：
岩沢 晴生

About 岩沢 晴生

, 
千葉 隆

About 千葉 隆

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林 明弘

About 林 明弘

, 
下川 努

About 下川 努


Applicant, Patent owner：
JSR株式会社

About JSR株式会社


Agent (1)： 福沢 俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003056564
Publication number (International publication number)：2003330196
Application date： Mar. 04, 2003
Publication date： Nov. 19, 2003
Summary：
【要約】【課題】 波長193nm以下における透明性が高く、解像度等のレジストとしての基本物性にも優れた化学増幅型レジストとして好適な感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 感放射線性樹脂組成物は、(A)下記式(a-1) の繰り返し単位および/または式(a-2) の繰り返し単位と下記式(b-1) の繰り返し単位および/または式(b-2) の繰り返し単位とを有する樹脂等で代表される酸解離性基含有樹脂樹脂、並びに(B)放射線の照射により、トリフルオロメタンスルホン酸、ノナフルオロ-n-ブタンスルホン酸、2-(2-ノルボルニル)-1,1,2,2-テトラフルオロエタンスルホン酸等で代表される酸を発生する感放射線性酸発生剤を含有する。【化1】
Claim (excerpt)：
(A)下記一般式(1)で表される繰り返し単位を有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の酸解離性保護基で保護された樹脂であって、酸の作用によりアルカリ可溶性となる樹脂、並びに(B)放射線の照射により、トリフルオロメタンスルホン酸または下記一般式(I)で表される酸を発生する感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔一般式(1)において、各R1 は相互に独立に水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜10の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基または炭素数1〜10の直鎖状もしくは分岐状のフッ素化アルキル基を示し、各Aは相互に独立に-O-または下記式(2)で表される基を示し、かつ少なくとも2つのAが式(2)で表される基であり、mおよびnはそれぞれ0または1で、(m+n)=1である。【化2】(式中、各R2 は相互に独立に水素原子、ハロゲン原子、水酸基、炭素数1〜10の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基、炭素数1〜10の直鎖状もしくは分岐状のフッ素化アルキル基、または酸により解離して水酸基となる1価の基を示す。)〕【化3】〔一般式(I)において、Ra は水素原子、フッ素原子、炭素数1〜20の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基、炭素数1〜20の直鎖状もしくは分岐状のフッ素化アルキル基、炭素数3〜20の環状の1価の炭化水素基、または炭素数3〜20の環状の1価のフッ素化炭化水素基を示し、該1価の炭化水素基および該1価のフッ素化炭化水素基は置換されていてもよく、各Rb は相互に独立にフッ素原子またはトリフルオロメチル基を示す。〕
IPC (3)：
G03F 7/039 601 ,  C08F 36/20 ,  H01L 21/027
FI (3)：
G03F 7/039 601 ,  C08F 36/20 ,  H01L 21/30 502 R
F-Term (24)：
2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BG00 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  4J100AS13P ,  4J100AS13Q ,  4J100BA02P ,  4J100BA02Q ,  4J100BA03P ,  4J100BA05P ,  4J100BA05Q ,  4J100BB07P ,  4J100BB07Q ,  4J100CA01 ,  4J100CA04 ,  4J100CA21 ,  4J100JA38
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (12)
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