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J-GLOBAL ID：200903098594391573
表面付着粒子検出装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991287823
Publication number (International publication number)：1993129399
Application date： Nov. 01, 1991
Publication date： May. 25, 1993
Summary：
【要約】【目的】多様な方向性のパターンを有する対象物の表面に付着した粒子を高感度で検出することが可能な表面付着粒子検出装置を提供することにある。【構成】半導体ウエハにレーザビームを照射して半導体ウエハの表面に付着した粒子を検出する表面付着粒子検出装置において、互いに異なる性質を有し半導体ウエハ20の表面21に照射される複数のレーザビーム14a、14bと、これらレーザビーム14a、14bを半導体ウエハ20の表面21に走査する回転多面体スキャナ16と、レーザビーム14a、14bを一定の間隔を保ったまま半導体ウエハ20の表面21に集光するfθレンズ19と、半導体ウエハ20の表面21からの散乱光を受けて電気信号に変換するフォトマルチプライア24a、24bと、このフォトマルチプライア24a、24bの出力からノイズ成分を除いて粒子30の信号を取出すシグナルプロセッサ28とを備えた。
Claim (excerpt)：
照射対象物に測定光を照射して上記照射対象物の表面に付着した粒子を検出する表面付着粒子検出装置において、互いに異なる性質を有し上記照射対象物の表面に照射される複数の測定光と、これら測定光を上記照射対象物の表面に走査する測定光走査手段と、上記測定光を一定の間隔を保ったまま上記照射対象物の表面に集光する集光光学系と、上記照射対象物の表面からの散乱光を受けて電気信号に変換する光電変換手段と、この光電気変換手段の出力からノイズ成分を除いて上記粒子の信号を取出す信号処理手段とを備えたことを特徴とする表面付着粒子検出装置。
IPC (2)：
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