Pat

J-GLOBAL ID：200903098598966562

赤外線トモグラフィー装置

Inventor： 古川 純 ,  降屋 久 ,  新行内 隆之
Applicant, Patent owner： 三菱マテリアル株式会社 ,  三菱マテリアルシリコン株式会社
Agent (1)： 安倍 逸郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994054493
Publication number (International publication number)：1995239308
Application date： Feb. 28, 1994
Publication date： Sep. 12, 1995
Summary：

【要約】【目的】 赤外線が物質面に対して非常に低い角度で入射すると、この入射赤外線がその物質表面で全反射することを利用し、高効率で赤外線を結晶体表面近傍に入射可能とし、かつ、結晶体の表面の状態に影響をうけにくく、結晶体の表層部の内部欠陥を確実に検出する装置を提案する。【構成】 赤外線光源41から赤外線IRをウェーハ12裏面もしくは劈開面からその内部に入射する。ウェーハ12内部を透過した赤外線は、その表面12Bに対して低角度で入射し、表面で全反射する。ウェーハ12の内部欠陥dにより散乱光が生じる。この90 ゚散乱光を集光してセンサ64に結像させ、内部欠陥を検出する。

Claim (excerpt)：

板状の結晶体を保持する保持手段と、この結晶体の内部に赤外線を入射し、結晶体の一面において全反射させる入射手段と、この結晶体の入射面に対する赤外線の入射角度を可変とする入射角制御手段と、この結晶体に入射した赤外線による散乱光を検出する散乱光検出手段とを備えたことを特徴とする赤外線トモグラフィー装置。

IPC (3)：

G01N 21/88 ,  G01N 21/47 ,  H01L 21/66

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-012254
  
• 特開昭64-023144
  
• 特開平3-282357