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J-GLOBAL ID：200903098633483286

強誘電体薄膜形成用塗布液、その製造方法および強誘電体薄膜

Inventor： 池田 憲彦 ,  小松 敏 ,  山田 欣司
Applicant, Patent owner： ジェイエスアール株式会社
Agent (1)： 鈴木 俊一郎 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001187835
Publication number (International publication number)：2002193616
Application date： Jun. 21, 2001
Publication date： Jul. 10, 2002
Summary：

【要約】【課題】 汎用の有機溶媒に可溶な有効成分を含み、保存安定性や再現性に優れ、しかも低温での焼成によっても薄膜形成が可能な強誘電体形成用塗布液、その製造方法およびこれを用いる強誘電体薄膜を提供する。【解決手段】 本発明に係る強誘電体薄膜形成用塗布液は、金属アルコキシド(a)を加水分解および縮合して得られる加水分解縮合物の官能基の少なくとも一部をカルボキシル基に置換してなる第1有機金属化合物(A)と、上記金属アルコキシド(a)と異なる金属の金属アルコキシド(b)、該金属アルコキシド(b)を加水分解および縮合して得られる加水分解縮合物(c)、前記金属アルコキシド(b)の官能基の少なくとも一部をカルボキシル基に置換してなる化合物(d)および前記加水分解縮合物(c)の官能基の少なくとも一部をカルボキシル基に置換してなる化合物(e)から選ばれる少なくとも1種からなる第2有機金属化合物(B)とを含むことを特徴としている。

Claim (excerpt)：

金属アルコキシド(a)を加水分解および縮合して得られる加水分解縮合物の官能基の少なくとも一部をカルボキシル基に置換してなる第1有機金属化合物(A)と、上記金属アルコキシド(a)と異なる金属の金属アルコキシド(b)、該金属アルコキシド(b)を加水分解および縮合して得られる加水分解縮合物(c)、前記金属アルコキシド(b)の官能基の少なくとも一部をカルボキシル基に置換してなる化合物(d)および前記加水分解縮合物(c)の官能基の少なくとも一部をカルボキシル基に置換してなる化合物(e)から選ばれる少なくとも1種の化合物からなる第2有機金属化合物(B)とを含むことを特徴とする強誘電体薄膜形成用塗布液。

IPC (9)：

C01G 1/02 ,  C01G 35/00 ,  H01B 3/12 318 ,  H01L 21/316 ,  H01L 21/8247 ,  H01L 29/788 ,  H01L 29/792 ,  C01B 13/18 ,  H01L 27/105

FI (8)：

C01G 1/02 ,  C01G 35/00 B ,  C01G 35/00 C ,  H01B 3/12 318 G ,  H01L 21/316 G ,  C01B 13/18 ,  H01L 29/78 371 ,  H01L 27/10 444 C

F-Term (59)：

4G042DA01 ,  4G042DB11 ,  4G042DC03 ,  4G042DD02 ,  4G042DE09 ,  4G042DE14 ,  4G048AA05 ,  4G048AB02 ,  4G048AB05 ,  4G048AC02 ,  4G048AD02 ,  4G048AE08 ,  5F058BA11 ,  5F058BC03 ,  5F058BF46 ,  5F058BJ02 ,  5F083AD11 ,  5F083FR00 ,  5F083FR01 ,  5F083FR05 ,  5F083FR06 ,  5F083FR07 ,  5F083JA17 ,  5F083JA38 ,  5F083PR16 ,  5F083PR23 ,  5F101BA62 ,  5G303AA10 ,  5G303AB15 ,  5G303AB20 ,  5G303BA03 ,  5G303BA12 ,  5G303CA01 ,  5G303CB03 ,  5G303CB06 ,  5G303CB09 ,  5G303CB10 ,  5G303CB11 ,  5G303CB13 ,  5G303CB14 ,  5G303CB15 ,  5G303CB16 ,  5G303CB17 ,  5G303CB18 ,  5G303CB20 ,  5G303CB21 ,  5G303CB23 ,  5G303CB25 ,  5G303CB32 ,  5G303CB33 ,  5G303CB35 ,  5G303CB36 ,  5G303CB37 ,  5G303CB38 ,  5G303CB39 ,  5G303CB40 ,  5G303CB43 ,  5G303CD04 ,  5G303DA02