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J-GLOBAL ID：200903098636875860
インクジェットヘッド
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996248076
Publication number (International publication number)：1998086361
Application date： Sep. 19, 1996
Publication date： Apr. 07, 1998
Summary：
【要約】【課題】特性低下の無いインクジェットヘッドを提供すること。【解決手段】インクジェットヘッドに関し、絶縁体基板2表面に第1のキャビティ9を形成し、該第1のキャビティ内を含む前記絶縁体基板2表面に第1の導電体から成る第1の電極21を形成し、該第1の電極21および前記第1のキャビティ9を含む前記絶縁体基板2表面に、第2の電極およびインクの通路とも成る第2のキャビティ部6を含む振動板5を形成し、該振動板5の前記第1のキャビティ側には高抵抗半導体膜107を形成する。
Claim (excerpt)：
絶縁体基板表面には第1のキャビティが形成されて成り、該第1のキャビティ内を含む前記絶縁体基板表面には第1の導電体から成る第1の電極が形成されて成り、該第1の電極および前記第1のキャビティを含む前記絶縁体基板表面には、第2の電極およびインクの流路とも成る第2のキャビティ部を含む振動板が形成されて成り、該振動板の前記第1のキャビティ側には高抵抗半導体膜が形成されて成ることを特徴とするインクジェットヘッド。
IPC (2)：
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