Pat

J-GLOBAL ID：200903098648089177

感光性組成物

Inventor： 青合 利明 ,  水谷 一良
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 中村 稔 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991012665
Publication number (International publication number)：1994011838
Application date： Jan. 11, 1991
Publication date： Jan. 21, 1994
Summary：

【要約】【構成】 (a)下式のポリシロキサン化合物、(b)酸により分解し得る基を有する化合物、及び(c)光照射により酸を発生する化合物を含有するポジ型感光性組成物。【効果】 水性アルカリ現像が可能で、高感度であり、経時安定性、酸素プラズマ耐性に優れている。【化1】

Claim (excerpt)：

(a)一般式(I)、(II)、(III)または(IV)で表される化合物と、一般式(V)、(VI)、(VII) または(VIII)で表される化合物との環化熱付加反応生成物から由来されるシロキサン単位を少なくとも1モル%含有するポリシロキサン化合物と、(b)酸により分解し得る基を少なくとも1個有し、アルカリ現像液中での溶解度が酸の作用により増大する化合物、及び(c)活性光線、又は放射線の照射により酸を発生する化合物、を含有する感光性組成物。【化1】【化2】【化3】

IPC (4)：

G03F 7/075 511 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平3-044645
  
• 特開昭51-141973
  
• 特開昭63-019408