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J-GLOBAL ID：200903098650085979

ステージ位置決め方法及びその装置、並びに、これを利用した同期位置決めシステム

Inventor： 小林 功 ,  沼里 英彦 ,  渡部 成夫
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 高崎 芳紘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993091341
Publication number (International publication number)：1994302497
Application date： Apr. 19, 1993
Publication date： Oct. 28, 1994
Summary：

【要約】【目的】 パターン検出器の検出ばらつきを低減し、ステージの負帰還制御ループ系に取り込んで、高精度なステージの位置決めを可能にする。【構成】 ステージ2上に搭載されたウェハ1上に設けられたパターン6a、6bを検出するパターン検出器7a、7bの出力は、平均値回路8により平均化されて平均値Pが出力される。この信号Pは、パターン検出器の逆ダイナミクス特性を持つ演算回路9により周波数特性が平坦化され、座標変換器10により変位センサ(レーザ干渉計)5aと同じ座標系に座標変換されて信号PXが出力される。加算処理回路11には、信号PXと、変位センサからの出力Xが入力され、信号Xを横軸とし、信号PXを縦軸として回帰直線を求め、回帰直線と縦軸の交点の縦軸の値を求める。これにより、PXのばらつきが平均化され、PXに対するXのオフセット値Cが正確に求められ、検出ばらつきが低減されたパターン検出器の出力が負帰還制御ループに取り込まれ、高精度な位置決めが可能になる。

Claim (excerpt)：

格子状マークが設けられた薄板状試料を搭載して移動可能なステージと、前記ステージの変位を検出する変位センサと、前記ステージの移動目標値を入力する入力端子を備え、当該移動目標値に応答して前記ステージの位置を駆動制御する駆動装置と、前記変位センサの出力を前記駆動装置の入力端子に負帰還する帰還回路と、前記薄板状試料の格子状マークの位置を光学的に検出するパターン検出器とを有する位置決め装置において、前記負帰還回路は;a.前記パターン検出器に接続され、前記パターン検出器の逆ダイナミクス特性を持つ演算回路と、b.前記演算回路に接続され、前記パターン検出器の出力の座標を前記変位センサの座標に変換する座標変換器と、c.前記変位センサの出力と前記座標変換器の出力から、前記パターン検出器の出力に対する前記変位センサ出力のオフセット値を求め、当該オフセット値を前記変位センサ出力に加算して前記入力端子に負帰還する加算処理回路と、を具備したことを特徴とするステージ位置決め装置。

IPC (5)：

H01L 21/027 ,  G03F 9/00 ,  G05D 3/00 ,  G05D 3/12 304 ,  H01L 21/68