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J-GLOBAL ID：200903098650636193

液体定量輸送装置

Inventor： 恒成 欣嗣
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994322662
Publication number (International publication number)：1996178197
Application date： Dec. 26, 1994
Publication date： Jul. 12, 1996
Summary：

【要約】【目的】液体定量輸送装置において、ゴミの発生および液体原料の汚染あるいは配管の詰りなど起すことなく極めて円滑に微量からある程度の量までの液体原料を円滑に定量輸送する【構成】狭い空隙を有する同軸2重管の大口径管9内表面に表面弾性波を励起させる少なくとも2個の超音波振動子7a,7bを配設し、この液面接触面の運動によって接触する液体を移動させ、流量センサ3で液体の流量を検知しセンサ出力を駆動電源部2にフィードバックし超音波振動子7a,7bへの駆動電力を制御し液体流量を一定量にしている。

Claim (excerpt)：

小口径管の外壁と大口径管の内壁とが一定の間隔を保つように同軸に配置する互に径の異なる大小2本の弾性体管と、該大口径管の両端部から各々一定距離隔たった該大口径管と同軸に装着する少なくとも2箇の円環状超音波振動子と、該振動子の振動により該大口径管内面に励起された表面弾性波により該小口径管と該大口径管にはさまれた空隙内に満たされた液体を一定方向に輸送するポンプ部と、このポンプ部の下流に設置され前記液体の流量を検知するセンサ部と、このセンサ部からの信号をもとに該超音波振動子に印加する駆動信号を制御し該ポンプ部を通過する前記液体の流量を定量制御する制御手段とを備えることを特徴とする液体定量輸送装置。

IPC (6)：

F17D 3/01 ,  C23C 16/44 ,  C23C 16/52 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/31