Pat

J-GLOBAL ID：200903098660961670

大気圧プラズマによる金属の表面処理法

Inventor： 西脇 醇 ,  池宮 範人 ,  内山 宏 ,  稲垣 秀夫 ,  澤田 康夫 ,  荻野 和己
Applicant, Patent owner： 西脇 醇 ,  イーシー化学株式会社 ,  伊藤忠ファインケミカル株式会社
Agent (1)： 小田島 平吉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992260566
Publication number (International publication number)：1994088242
Application date： Sep. 04, 1992
Publication date： Mar. 29, 1994
Summary：

【要約】【構成】 対向する2つの電極の間にある金属被処理体の少くとも被処理面を不活性気体と反応性気体との混合気体の雰囲気下におき、該混合気体を大気圧下プラズマ励起して電極間にグロー放電を行なわせる、金属被処理体の表面処理法。【効果】 従来法に比し極めて簡便な装置を用い、従来注入が困難であった種類の元素ですら金属表層中に注入可能であり、表面硬度、表面の濡れ性等の金属の表面特性を極めて容易に改質できる。

Claim (excerpt)：

対向する2つの電極の間にある金属被処理体の少くとも被処理面を不活性気体と反応性気体との混合気体の雰囲気下におき、該混合気体を大気圧下プラズマ励起して電極間にグロー放電を行なわせる、金属被処理体の表面処理法。

IPC (3)：

C23C 16/50 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平2-080577
  
• 特開平3-236475