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J-GLOBAL ID：200903098662498632

欠陥検出方法

Inventor：
中山 攻

About 中山 攻


Applicant, Patent owner：
株式会社リコー

About 株式会社リコー


Agent (1)： 小島 俊郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001316690
Publication number (International publication number)：2003123073
Application date： Oct. 15, 2001
Publication date： Apr. 25, 2003
Summary：
【要約】【課題】 本発明はこの問題点を解決するためのものであり、良品のばらつきや外乱などを考慮した高精度な欠陥検出方法を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明に係る欠陥検出方法によれば、先ず予め複数の良品ワークの表面状態を撮像し、得られた複数の良品ワークの画像データを参照画像とし、この参照画像をフーリエ変換することにより得られた参照画像の周波数データを参照周波数データとして準備しておく。そして、検査時には被検査物を撮像し得られた被検査物の画像データを検査画像とし、検査画像をフーリエ変換することにより得られた周波数データを検査周波数データとする。また、参照周波数データと検査周波数データを比較し、周波数特性の異なる部分を抽出し、抽出された周波数成分を欠陥周波数データとし、この欠陥周波数データを逆フーリエ変換することにより欠陥画像を作成し、この欠陥画像を処理することにより被検査物の欠陥を検出する。
Claim (excerpt)：
被検査物に照明装置により光を照射しその反射光を撮像装置で撮像し、得られた被検査物の画像データを処理することにより被検査物の欠陥を検出する欠陥検出方法において、予め複数の良品ワークの表面状態を撮像し、得られた複数の良品ワークの画像データを参照画像とし、該参照画像をフーリエ変換することにより得られた参照画像の周波数データを参照周波数データとし、検査時には被検査物を撮像し得られた被検査物の画像データを検査画像とし、検査画像をフーリエ変換することにより得られた周波数データを検査周波数データとし、参照周波数データと検査周波数データを比較し、周波数特性の異なる部分を抽出し、抽出された周波数成分を欠陥周波数データとし、該欠陥周波数データを逆フーリエ変換することにより欠陥画像を作成し、該欠陥画像を処理することにより被検査物の欠陥を検出することを特徴とする欠陥検出方法。
IPC (3)：
G06T 7/00 300 ,  G01N 21/88 ,  G06T 1/00 305
FI (3)：
G06T 7/00 300 H ,  G01N 21/88 J ,  G06T 1/00 305 A
F-Term (27)：
2G051AC21 ,  2G051EA08 ,  2G051EA12 ,  2G051EB01 ,  2G051EC02 ,  2G051EC03 ,  2G051EC04 ,  2G051ED21 ,  5B057AA03 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CE20 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC19 ,  5B057DC34 ,  5B057DC36 ,  5B057DC39 ,  5L096AA06 ,  5L096BA03 ,  5L096FA23 ,  5L096FA35 ,  5L096GA08 ,  5L096JA11 ,  5L096KA15
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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