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J-GLOBAL ID：200903098677131620

光重合性混合物およびこれから調製した記録材料

Inventor： ハンス-ディーター、フロメルト
Applicant, Patent owner： ヘキスト・アクチェンゲゼルシャフト
Agent (1)： 佐藤 一雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991268909
Publication number (International publication number)：1994095381
Application date： Sep. 20, 1991
Publication date： Apr. 08, 1994
Summary：

【要約】 (修正有)【構成】重合体結合剤、重合性化合物、トリクロロメチル-s-トリアジンおよび一般式II(式中、R3 およびR4 は、水素またはハロゲン原子、アルキル、アルコキシ、アルコキシカルボニルまたはアリール基を表わす、または一緒に縮合ベンゼン環を表わし、R5 およびR6 は、アルキル、アリールまたはアラルキル基を表わす、または一緒に5または6員環の複素環を表わす。)の化合物からなる光重合性混合物。【効果】転写可能なドライフォトレジスト層の製造に好適であり、フォトスピードが高く、画像コントラストが良い。

Claim (excerpt)：

必須成分として、a)重合体結合剤、b)少なくとも一つの末端エチレン性二重結合を有し、常圧における沸点が100°Cを超える、フリーラジカル反応により重合し得る化合物、およびc)一般式I【化1】(式中、R1 およびR2 は、同一または異なっており、置換されていてもよいアルキル、アルケニルまたはアリール基、あるいはトリクロロメチル基を表わす。)のトリクロロメチル化合物を含む光重合性混合物であって、前記混合物が、さらに他の光反応開始剤として、一般式II【化2】(式中、R3 およびR4 は、同一または異なっており、個別に水素またはハロゲン原子またはアルキル、アルコキシ、アルコキシカルボニルまたはアリール基を表わす、または一緒に縮合ベンゼン環を表わし、R5 およびR6 は、同一のまたは異なったアルキル、アリールまたはアラルキル基を表わす、または一緒に5または6員環の複素環を表わす。)の化合物を含むことを特徴とする光重合性混合物。

IPC (7)：

G03F 7/028 ,  G03F 7/00 501 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/032 ,  H01L 21/027