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J-GLOBAL ID：200903098686397306
ウエハ固定用チャック
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高田 守 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991330162
Publication number (International publication number)：1993166711
Application date： Dec. 13, 1991
Publication date： Jul. 02, 1993
Summary：
【要約】【目的】他のチャックのウエハ固定部上の異物が、該ウエハ固定部で固定されていたウエハ側に付着していても、その付着異物に影響なくウエハをチャックできるようにする。【構成】レジスト塗布装置用真空チャック36の放射状ウエハ固定部40と、露光装置用真空チャック42のウエハ固定部44とは、互いにウエハ下面に対し共通の固定接触部分を持たないようにする。
Claim (excerpt)：
他のウエハ固定用チャックのウエハ固定部とはウエハの固定接触部分が重ならない関係となるようにウエハ固定部が配置されていることを特徴とするウエハ固定用チャック。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L 21/30 361 C
, H01L 21/30 301 Z
