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J-GLOBAL ID：200903098719238721
微小流路素子
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997095864
Publication number (International publication number)：1998288580
Application date： Apr. 14, 1997
Publication date： Oct. 27, 1998
Summary：
【要約】【課題】従来技術は、共に、機器分析用流体流路を構成する基板として、ホウケイ酸ガラスを用いているため、紫外波長域の光を吸収してしまい、短波長域での光学検出が出来ないという問題点があった。【解決手段】本発明の微小流路素子1は、平坦な石英ガラス基板2と、少なくとも一方の面に溝が形成された石英ガラス基板3とが、ポリシリコン薄膜4、アルカリイオン含有ガラス層例えば、ホウケイ酸ガラス薄膜5、ポリシリコン薄膜6からなる積層膜を介在させて接合して構成する。そのため、石英ガラス基板2と溝9が形成された石英ガラス基板3とによって囲まれた空間によって、機器分析用流体流路7が形成されており、紫外から可視の波長域の光の透過性に優れた石英ガラス基板に流体流路が形成されており、紫外から可視の波長域において、光学的検出が可能になる。
Claim (excerpt)：
対向する側の少なくとも一方面に流路を形成する溝が設けられる一対の石英ガラス基板と、前記一対の石英ガラス基板の対向する側の面で、前記溝内面及び該溝の開口に接する面を除き、対峙する面上に形成される一対のシリコン層と、前記一対のシリコン層間に介在し、両シリコン層に接して形成されるアルカリイオン含有ガラス層と、を具備し、一体的に接合されることを特徴とする微小流路素子。
IPC (2)：
FI (2)：
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