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J-GLOBAL ID：200903098737791411

半導体デバイスの製造方法

Inventor： ペーター、エイ.ストルク ,  ヨウリ、ポノマレフ
Applicant, Patent owner： コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ
Agent (1)： 吉武 賢次 (外4名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2001503210
Publication number (International publication number)：2003502835
Application date： May. 31, 2000
Publication date： Jan. 21, 2003
Summary：

【要約】ゲート誘電層(17)によりチャンネル(13)から絶縁されたゲート(22)を有するトランジスタを含み、チャンネル(13)が半導体本体(1)の表面(2)に設けられた第2導電型のアクティブ領域(4)に設けられており、第2導電型のソースゾーン(11,9)とドレインゾーン(12,9)との間で長さLにわたって延びている半導体デバイスの製造方法において、半導体本体(1)内に第1導電型のアクティブ領域(4)を構成し、後の工程で設けるようになっているゲート(22)の領域に凹部が設けられた誘電層(14)を形成し、凹部内に絶縁層を形成してトランジスタのゲート誘電層(17)を形成する。次に、第1導電層および第2導電層を形成する。第1導電層は凹部の幅と比較して比較的薄く、第1導電層および第2導電層は共にトランジスタのゲート(22)を形成し、誘電層(14)内の凹部を満たす。ゲートは中心部分(21)と、この中心部分(21)の両側に沿って位置する側端部分(19)とを含み、これら中心部分(21)および側端部分(19)はゲート誘電層(17)に接触し、チャンネル(13)の長さLにわたって変化するゲート(22)の仕事関数を共に決定する。

Claim (excerpt)：

第1導電型のアクティブ領域が表面に設けられた半導体本体を含み、ゲート誘電層により前記半導体本体の表面に設けられたチャンネルから絶縁されたゲートを有するトランジスタが前記アクティブ領域に設けられており、前記チャンネルが所定の長さにわたって前記半導体本体に設けられた第2導電型のソースゾーンおよびドレインゾーンの間に延びており、前記ゲートは中心部分およびその中心部分の両側に沿って位置する側端部分を含み、前記中心部分および側端部分は前記ゲート絶縁層に接触し共同して前記チャンネルの長さにわたって変化するゲートの仕事関数を定めている半導体デバイスの製造方法において、 前記アクティブ領域を構成した後に、後の工程で設けられるゲートの領域に凹部が設けられた誘電層を形成し、前記凹部内に絶縁層を形成し、前記トランジスタの前記ゲート誘電層を設け、その後、第1導電層および第2導電層を形成し、前記第1導電層は前記凹部の幅と比較して比較的薄く、前記第1導電層および第2導電層は共同して前記トランジスタのゲートを形成し、前記誘電層内の凹部を満たすことを特徴とする、半導体デバイスの製造方法。

IPC (6)：

H01L 29/78 ,  H01L 21/28 301 ,  H01L 21/336 ,  H01L 21/8238 ,  H01L 27/092 ,  H01L 29/43

FI (5)：

H01L 21/28 301 A ,  H01L 29/78 301 G ,  H01L 29/62 G ,  H01L 29/78 301 P ,  H01L 27/08 321 D

F-Term (87)：

4M104AA01 ,  4M104BB01 ,  4M104BB04 ,  4M104BB14 ,  4M104BB16 ,  4M104BB18 ,  4M104BB27 ,  4M104BB30 ,  4M104BB36 ,  4M104BB40 ,  4M104CC05 ,  4M104DD04 ,  4M104DD55 ,  4M104DD66 ,  4M104DD75 ,  4M104DD80 ,  4M104FF17 ,  4M104FF18 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  4M104HH12 ,  4M104HH14 ,  4M104HH18 ,  5F048AA09 ,  5F048AC03 ,  5F048BA01 ,  5F048BB01 ,  5F048BB04 ,  5F048BB05 ,  5F048BB06 ,  5F048BB08 ,  5F048BB09 ,  5F048BB11 ,  5F048BB12 ,  5F048BC06 ,  5F048BE04 ,  5F048BG12 ,  5F048BG14 ,  5F048DA25 ,  5F140AA06 ,  5F140AA21 ,  5F140AA40 ,  5F140AB03 ,  5F140BA01 ,  5F140BD07 ,  5F140BD11 ,  5F140BD12 ,  5F140BE03 ,  5F140BE07 ,  5F140BE10 ,  5F140BF01 ,  5F140BF03 ,  5F140BF04 ,  5F140BF05 ,  5F140BF07 ,  5F140BF08 ,  5F140BF10 ,  5F140BF11 ,  5F140BF15 ,  5F140BF17 ,  5F140BF20 ,  5F140BF34 ,  5F140BF37 ,  5F140BF40 ,  5F140BG01 ,  5F140BG03 ,  5F140BG04 ,  5F140BG08 ,  5F140BG09 ,  5F140BG12 ,  5F140BG32 ,  5F140BG36 ,  5F140BG38 ,  5F140BG40 ,  5F140BG53 ,  5F140BH15 ,  5F140BK02 ,  5F140BK05 ,  5F140BK13 ,  5F140BK21 ,  5F140CB01 ,  5F140CB04 ,  5F140CC03 ,  5F140CC05 ,  5F140CC07 ,  5F140CE07