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J-GLOBAL ID：200903098748352231

薬液ノズル

Inventor： 高野 径朗 ,  赤崎 恒雄
Applicant, Patent owner： シグマメルテック株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992356866
Publication number (International publication number)：1994182283
Application date： Dec. 21, 1992
Publication date： Jul. 05, 1994
Summary：

【要約】【目的】 基板全面に時間差なく薬液を塗布し,また,安定した温度の薬液を塗布するノズルを提供する。【構成】 被処理基板に対向する吐出面と該吐出面に多数配置された吐出口と薬液バッファと薬液導入口とからなることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

基板を薬液で処理するノズルにおいて,被処理基板に対向する吐出面と該吐出面に多数配置された吐出口と薬液バッファと薬液導入口とからなることを特徴とする薬液ノズル。

IPC (4)：

B05C 5/00 ,  B05C 5/00 101 ,  B05B 1/14 ,  H01L 21/027