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J-GLOBAL ID：200903098791560344

多素子型焦電検出器における分岐・集光素子の製造方法

Inventor： 操谷 俊之 ,  高田 秀次 ,  岡本 一隆
Applicant, Patent owner： 株式会社堀場製作所
Agent (1)： 藤本 英夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993041866
Publication number (International publication number)：1994229825
Application date： Feb. 06, 1993
Publication date： Aug. 19, 1994
Summary：

【要約】【目的】 フォトマスクを必要としなくても、また、異方性エッチング特性を持たない材料を用いても、アスペクト比の高い加工ができる多素子型焦電検出器における分岐・集光素子の製造方法を提供するものである。【構成】 分析セル1中で被測定ガスの種類や濃度に応じた特性吸収を受けた赤外光を分岐して、多素子型焦電検出器7のそれぞれの受光部に集光させる分岐・集光素子を形成するに際して、薄状の赤外透過材料のウエハ30に直線溝M,m加工を施してウエハ表面30aを所望の溝パターンに形成し、続いて、溝パターンが形成されたウエハ30にダイシング加工を施してウエハ30から複数の分岐・集光素子を形成することからなる。

Claim (excerpt)：

分析セル中で被測定ガスの種類や濃度に応じた特性吸収を受けた赤外光を分岐して、多素子型焦電検出器のそれぞれの受光部に集光させる分岐・集光素子を形成するに際して、薄状の赤外透過材料のウエハに直線溝加工を施してウエハ表面を所望の溝パターンに形成し、続いて、溝パターンが形成されたウエハにダイシング加工を施してウエハから複数の分岐・集光素子を形成することからなる多素子型焦電検出器における分岐・集光素子の製造方法。

IPC (4)：

G01J 1/04 ,  G01J 1/02 ,  G02B 3/08 ,  G02B 5/18

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-344493
  
• 特開平4-147019
  
• 特開昭60-053073