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J-GLOBAL ID：200903098791662783
磁気ディスクおよびその製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992099104
Publication number (International publication number)：1994044559
Application date： Apr. 20, 1992
Publication date： Feb. 18, 1994
Summary：
【要約】【構成】 アルゴンガスの圧力を10mTorr未満でかつ基板のバイアス電圧を-200ボルト未満としてカーボンターゲットを用いてスパタリングによって磁性膜の上に硬いカーボン膜の第一の保護膜を設け、アルゴンガスの圧力を10mTorr以上でかつ基板のバイアス電圧を-200ボルト以上としてカーボンターゲットを用いてスパタリングによって第一の保護膜の上に表面が粗いカーボン膜の第二の保護膜を設ける。【効果】 潤滑膜がなくても充分に低い静摩擦係数でしかも耐久性がある保護膜を形成することができる。
Claim (excerpt)：
磁性膜の上に硬いカーボン膜の第一の保護膜を設け、前記第一の保護膜の上に表面が粗いカーボン膜の第二の保護膜を設けたことを特徴とする磁気ディスク。
IPC (3)：
G11B 5/72
, G11B 5/82
, G11B 5/84
