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J-GLOBAL ID：200903098806765720
電子ビーム装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
井島 藤治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995063927
Publication number (International publication number)：1996264142
Application date： Mar. 23, 1995
Publication date： Oct. 11, 1996
Summary：
【要約】【目的】 簡単な構成で電子ビームの電流量(電流密度)を高速で変えることができる電子ビーム装置を実現する。【構成】 グリッド電極2の付近でクロスオーバー像が結像された電子ビームEBは、照明レンズ7によって絞り17の開口部分の手前に結像される。変調用レンズ電源31に所定の電子ビーム電流量に対応した信号を供給すると、レンズ電源31から変調用レンズ30には、その信号に応じた励磁電流が供給される。この結果、絞り17上で電子ビームはデフォーカスされた状態となり、拡大して絞り17上に照射される。従って、絞り17によって一部の電子は遮蔽され、絞り17の開口を通過する電子ビームの量は減少することになり、絞り17の開口を通過し、材料9に照射される電子ビームの量は、絞り17上の電子ビームのデフォーカス量によって任意に変えられる。
Claim (excerpt)：
電子銃からの電子ビームを絞りの開口部分に結像する第1のレンズ系と、絞りの開口像を材料上に結像するレンズ系と、絞りの上方に設けられ、絞りに照射される電子ビームを任意にデフォーカスさせ、絞りの開口を通過する電子ビームの量を変化させるための変調用レンズとを備えた電子ビーム装置。
IPC (3)：
H01J 37/04
, H01J 37/141
, H01J 37/30
H01J 37/04 A
, H01J 37/141 Z
, H01J 37/30 A
