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J-GLOBAL ID：200903098809261757

単結晶引上装置、高純度黒鉛材料及びその製造方法

Inventor： 近藤 照久
Applicant, Patent owner： 東洋炭素株式会社
Agent (1)： 梶 良之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997066023
Publication number (International publication number)：1998007488
Application date： Mar. 19, 1997
Publication date： Jan. 13, 1998
Summary：

【要約】【課題】 耐熱性、耐熱衝撃性、機械的特性、低蒸気圧性、化学的安定性、低アウトガス性等を満足する黒鉛材料及びその製法を開発し、これを単結晶引上装置の部材として使用する。【解決手段】 全灰分5ppm以下に高純度化され、前記高純度化の処理時に内部に残存する処理ガスを不活性ガスと置換した高純度黒鉛材料、又は、全部において全灰分が5ppm以下あるとともに、深層部の全灰分が1ppm以下に高純度化された高純度黒鉛材料を単結晶引上装置の部材として用いることにによって解決される。このような高純度黒鉛材料は、常法に強減圧下の冷却工程、不活性ガスと置換する置換工程を付加して得られる。

Claim (excerpt)：

単結晶引上装置に於いて、黒鉛ルツボ、黒鉛ヒーター及び黒鉛保温筒の少なくとも1種が、全灰分5ppm以下に高純度化され、前記高純度化の処理時に内部に残存する処理ガスを不活性ガスと置換した高純度黒鉛材料から成ることを特徴とする単結晶引上装置。

IPC (4)：

C30B 15/10 ,  C30B 29/06 502 ,  C01B 31/04 101 ,  C04B 35/52

FI (4)：

C30B 15/10 ,  C30B 29/06 502 B ,  C01B 31/04 101 A ,  C04B 35/54 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭61-097117
  
• 特開昭61-101408
  
• 特開昭54-157781