Pat

J-GLOBAL ID：200903098809293799

マイクロアクチュエータ

Inventor： 芝池 成人 ,  松本 聡
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992183351
Publication number (International publication number)：1994038562
Application date： Jul. 10, 1992
Publication date： Feb. 10, 1994
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 ウォブルモータの持つ低速高トルクという特徴を活かしながら、高精度な位置決めが可能で、長寿命且つ信頼性の高い静電駆動型のマイクロアクチュエータを提供する。【構成】 円周状に配置した電極13a〜13pに順次静電気的に吸引されて公転及び自転するリング状の移動板12が、複数の螺旋状の梁11a〜11cにより基板上に弾性支持された構成である。

Claim (excerpt)：

基板上に円周状に配された複数の電極と、これらの電極の内側に位置するリング状の移動板と、前記移動板を弾性支持しかつ前記移動板の内側で前記基板上に固定端を有する梁と、前記電極に選択的に電圧を印加し前記移動板を前記電極に静電気的に吸引させ移動させる電圧印加手段とを備えたことを特徴とするマイクロアクチュエータ。