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J-GLOBAL ID：200903098827025890

微細路の成形方法及び微細路成形材

Inventor： 鈴木 弘之 ,  安中 敏男 ,  青木 真
Applicant, Patent owner： 株式会社トキメック
Agent (1)： 竹内 進 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991291043
Publication number (International publication number)：1993276924
Application date： Nov. 07, 1991
Publication date： Oct. 26, 1993
Summary：

【要約】【目的】 気体や液体を流したり、共鳴路等に適用するミクロン単位の極めて狭い幅及び深さの微細路を成形することを目的とする。【構成】 少なくとも一方が透明な2枚の平板を平行に配置し、これらの平板の隙間に光硬化樹脂を充填し、フォトリソグラフィを用いて該光硬化樹脂を硬化させ、固化しない部分を洗浄することによって微細路を成形するようにした。

Claim (excerpt)：

少なくとも一方が透明な2枚の平板を平行に配置し、これらの平板の隙間に光硬化樹脂を充填し、フォトリソグラフィを用いて該光硬化樹脂を硬化させ、固化しない部分を洗浄することによって微細路を成形する、ことを特徴とする微細路の成形方法。