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J-GLOBAL ID：200903098868650155

クリーンルームの空気清浄装置

Inventor： 藤江 信夫
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 伊東 忠彦 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991311000
Publication number (International publication number)：1993149582
Application date： Nov. 26, 1991
Publication date： Jun. 15, 1993
Summary：

【要約】【目的】 本発明はクリーンルーム内に吸着剤から発生したアルカリ金属が侵入しないよう構成したクリーンルームの空気清浄装置を提供することを目的とする。【構成】 空気清浄装置は過酸化マンガンカリウムを基剤として吸着剤を有する吸着装置8からの空気を循環調和機3に供給する。循環調和機3には吸着剤から折出したアルカリ金属を吸着するガラス繊維21が充填されたアルカリ金属吸着装置18が設けられ、クリーンルーム2にはガラス繊維によりアルカリ金属が除去された空気が供給される。

Claim (excerpt)：

過酸化マンガンカリウムを基剤とした吸着剤を有する吸着装置(8)からの空気を管路(10)を介してクリーンルーム(2)に供給するクリーンルームの空気清浄装置において、前記吸着剤より折出したアルカリ金属を吸着するガラス繊維(21)が絡んだ状態で充填されたアルカリ金属吸着装置(18)を前記管路(10)に設けてなることを特徴とするクリーンルームの空気清浄装置。