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J-GLOBAL ID：200903098872925711
透明導電性薄膜
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
泉名 謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994083009
Publication number (International publication number)：1995291664
Application date： Apr. 21, 1994
Publication date： Nov. 07, 1995
Summary：
【要約】【構成】ガラス上に形成された透明導電性薄膜において、該薄膜製膜後の該薄膜の主成分の結晶は、該結晶におけるガラス面と平行な格子面の間隔と、ASTMのデータに示される該結晶の該格子面の間隔との差が0.6%以内の結晶である透明導電性薄膜。【効果】ガラス基板に反りが生じても膜にクラックが入らないため膜の抵抗は増加しない。
Claim (excerpt)：
ガラス上に形成された透明導電性薄膜において、該薄膜製膜後の該薄膜の主成分の結晶は、該結晶におけるガラス面と平行な格子面の間隔と、ASTMのデータに示される該結晶の該格子面の間隔との差が0.6%以内の結晶であることを特徴とする透明導電性薄膜。
IPC (2)：
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