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J-GLOBAL ID：200903098876715070

パルスレーザ装置

Inventor： 南谷 靖史
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 曾我 道照 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992291016
Publication number (International publication number)：1994061565
Application date： Oct. 29, 1992
Publication date： Mar. 04, 1994
Summary：

【要約】【目的】 レーザ光のエネルギーを目標エネルギー設定値通りに出力するにはどれだけ充電すれば良いかを的確にレーザ電源に指令してパルスレーザの出力を一定に保つことができるパルスレーザ装置を得る。【構成】 レーザ光のパルス毎のエネルギーを検出するビームスプリッタ4、パワーモニタ5と、パルスのレーザ励起強度を検出する電圧モニタ11と、パワーモニタ5の検出出力及び電圧モニタ11の検出出力に基いて演算を行うCPU6Aと、このCPU6Aの演算結果に基いてパルスのレーザ励起強度を可変するレーザ電源9とで構成する。

Claim (excerpt)：

レーザ光のパルス毎のエネルギーを検出するエネルギー検出手段と、上記パルスのレーザ励起強度を検出するレーザ励起強度検出手段と、上記エネルギー検出手段の検出出力及び上記レーザ励起強度検出手段の検出出力に基いて演算を行う演算手段と、該演算手段の演算結果に基いて上記パルスのレーザ励起強度を可変するレーザ励起強度可変手段とを備えたことを特徴とするパルスレーザ装置。