エネルギー感受性材料及びそれらの使用法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：岡部正夫 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993101637
Publication number (International publication number)：1994083074
Application date： Apr. 28, 1993
Publication date： Mar. 25, 1994
Summary：

【要約】【目的】エネルギー感受性材料及びそれらの使用法を提供する。【構成】一連のシリコンを含む材料は、放射により誘導されたガラス状化合物への変換により、パターン形成用に紫外及び遠紫外に優れた感度を示す。材料は気相から堆積可能で、電子及び光デバイスの作製におけるレジストのような用途に対して、優れた性質を示す。

Claim (excerpt)：

基板上に放射に対し感度をもつ材料の層を形成する工程、パターンを形成するために、前記材料を前記放射に露出する工程及び前記パターンを現像する工程を含む基体の作製方法において、前記材料は0.2<x<1.5、0.2<y<1.5、Rを有機置換基とするとき、式〔R<SB>x </SB>Si H<SB>y </SB>〕<SB>n</SB>で表わされる組成を含み、前記材料は不溶性であることを特徴とする方法。

IPC (4)：

G03F 7/38 512 , H01L 21/027 , C08G 77/60 NUM , H01L 21/302

FI (2)：

H01L 21/30 301 R , H01L 21/30 361 R

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

特開昭60-228542
特開平2-263981

Cited by examiner (4)

特開昭60-228542
特開昭60-228542
特開平2-263981

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