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J-GLOBAL ID：200903098927461868

薄膜磁気ヘッド

Inventor： 小巻 賢治 ,  鈴木 功一
Applicant, Patent owner： 住友金属工業株式会社
Agent (1)： 河野 登夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995128299
Publication number (International publication number)：1996321010
Application date： May. 26, 1995
Publication date： Dec. 03, 1996
Summary：

【要約】【目的】 軟磁気特性及び耐食性に優れたCoNiFe膜を備える薄膜磁気ヘッド。【構成】 基板1上に電気めっき法により磁性膜を成膜する。通常よりも低いレートである40nm/秒のめっきレートで成膜することにより、Coが74重量%:Niが21重量%:Feが5重量%の膜組成のCoNiFe膜が、平均粒径15nmで形成された。保磁力は2[Oe]であり、磁歪は2×10-6である。腐食電位はNiFeに対して-0.08Vであり、耐食性に優れていることが認められた。

Claim (excerpt)：

Coが60〜75重量%、Niが17〜25重量%、Feが3〜9重量%の組成比を有するCoNiFe膜を備える薄膜磁気ヘッドであって、前記CoNiFe膜の平均結晶粒径が12nm〜20nmであることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。

IPC (4)：

G11B 5/31 ,  C22C 19/00 ,  C23C 14/00 ,  G11B 5/127

FI (4)：

G11B 5/31 C ,  C22C 19/00 ,  C23C 14/00 D ,  G11B 5/127 F