Pat

J-GLOBAL ID：200903098933097167

光回路部品

Inventor： 石井 元速 ,  杉田 彰夫 ,  日比野 善典 ,  岡本 勝就 ,  玉村 敏昭 ,  阿部 淳 ,  山田 裕明
Applicant, Patent owner： 日本電信電話株式会社
Agent (1)： 谷 義一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993227075
Publication number (International publication number)：1995084225
Application date： Sep. 13, 1993
Publication date： Mar. 31, 1995
Summary：

【要約】【目的】 回折格子のブラッグ波長可変または他の光素子の光路長可変とすることが容易な光回路部品を提供する。【構成】 シリコン基板4a上に光導波路が形成され、この光導波路上に回折格子2aが設けられている。さらに、回折格子2a上に金属薄膜ヒータ1aが設けられている。

Claim (excerpt)：

シリコン基板上に、石英系ガラスを主成分とする光導波路が形成された光回路部品において、前記光導波路上に設けられた回折格子と該回折格子上に設けられた金属薄膜ヒータとを具備することを特徴とする光回路部品。

IPC (2)：

G02F 1/01 ,  G02B 6/12

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平2-226776
  
• 特開昭62-002213
  
• 特開平3-263011