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J-GLOBAL ID：200903098947047065

3次収差を除く電子光学補正器

Inventor：
ローセ ハラルド

About ローセ ハラルド


Applicant, Patent owner：
レオ イレクトロネンミクロスコピィ ゲーエムベーハー

About レオ イレクトロネンミクロスコピィ ゲーエムベーハー


Agent (1)： 飯田 幸郷 (外1名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2001552424
Publication number (International publication number)：2003520427
Application date： Jan. 12, 2001
Publication date： Jul. 02, 2003
Summary：
【要約】【課題】球面収差、界磁曲率、オフ・アクシス非点収差等の3次収差を除き、それ自体が3次オフ・アクシス・コマ、3次歪曲及び1度の1次色収差を有することのない電子光学補正器を提供すること。【解決手段】直線をなす光軸の方向の中心面について対称をなすように補正器を構成し、長さl1のヘキサポール(S1)をビーム通路の方向に最初に配置し、次いで円形レンズ(R1)、長さl2のヘキサポール(S2)そして円形レンズ(R2)を配置し、この円形レンズの次にヘキサポール(S1)と同じ強度で長さが2倍(l3=2l1)の第3のヘキサポールを配置する。長さが同一の2個の円形レンズ(R1,R2)を焦点距離2fだけ離し、ヘキサポール(S2)をその2個の円形レンズ(R1,R2)の主焦点に配置し、円形レンズから前記第一のヘキサポール(S1)までの距離を(S1)の内面が下流側に配置した円形レンズの前方の主焦点にあるように選定し、ヘキサポール(S2)と(S3)の中心を焦点面になるようにしてある。さらに補正器の追加要素もヘキサポール(S3)の中心面(Zm)について対称になるように順序を同じに設置する。
Claim (excerpt)：
直線光軸の方向の中央面について対称をなし、長さl1のヘキサポール(S1)を最初に配置し、つづいて円形レンズ(R1)長さl2のヘキサポール(S2)を配して成る補正器であって、この補正器に円形レンズ(R2)を設け、前記円形レンズ(R2)に続いて、前記ヘキサポール(S1)と同一強度であって、その長さが2倍(l3=2l1)の第3のヘキサポール(S3)を配して、焦点距離が同一(2f)で、同一強度の2個の円形レンズ(R1,R2)を分離し、2個の円形レンズ(R1,R2)の間の主焦点に前記ヘキサポール(S2)を配置し、前記第一のヘキサポール(S1)から円形レンズに至る距離を前記ヘキサポール(S1)の面が下流側に配置される円形レンズの前方主焦点に一致するようにし、ヘキサポール(S2)と(S3)の中心を円形レンズ(R1,R2)の焦点面に一致するようにし、さらに2個の円形レンズ(R3,R4)とヘキサポール(S4,S5)を前記ヘキサポール(S3)の中心面(Zm)について対称になるように配置したことを特徴とする3次オフ・アクシス・コマ、3次歪曲および第1度の1次色収差の存在することのない球面収差、界磁曲率およびオフ・アクシス非点収差のような3次収差を除く電子光学補正器。
IPC (5)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 521 ,  H01J 37/141 ,  H01J 37/153
FI (5)：
G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 521 ,  H01J 37/141 A ,  H01J 37/153 Z ,  H01L 21/30 541 B
F-Term (13)：
2H097AA03 ,  2H097BA10 ,  2H097CA16 ,  2H097EA01 ,  2H097LA10 ,  5C033DD04 ,  5C033DE07 ,  5C033JJ01 ,  5C033JJ07 ,  5F056CB28 ,  5F056CB29 ,  5F056CB30 ,  5F056EA08
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
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