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J-GLOBAL ID：200903098963617718
光導波路素子
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
森下 武一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996130162
Publication number (International publication number)：1997318980
Application date： May. 24, 1996
Publication date： Dec. 12, 1997
Summary：
【要約】【課題】 表面弾性波の伝搬速度が速く、高速走査や高速変調が可能な光導波路素子を得る。【解決手段】 Si基板2上にSiO2からなる光学的バッファ層3を介して光導波路としてのダイヤモンド薄膜4が形成されている。ダイヤモンド薄膜4表面の中央部手前寄りにインターデジタルトランスジューサ11が形成されている。ダイヤモンド薄膜4上にはZnOからなる圧電性薄膜6が形成され、この圧電性薄膜6上には左右両側部に入射用グレーティングカプラ12及び出射用グレーティングカプラ13が形成されている。
Claim (excerpt)：
基板と、前記基板上に積層された、ダイヤモンド薄膜からなる光導波路並びに圧電性薄膜と、を備えたことを特徴とする光導波路素子。
IPC (2)：
FI (3)：
G02F 1/335
, G02B 6/12 N
, G02B 6/12 K
