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J-GLOBAL ID：200903098969569669

鏡面形状測定装置

Inventor： 佐々木 亜紀 ,  田畑 真毅
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 田澤 博昭 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991196110
Publication number (International publication number)：1993018719
Application date： Jul. 11, 1991
Publication date： Jan. 26, 1993
Summary：

【要約】【目的】 鏡面で反射された光による各結像点と基準となる各点との位置の差に応じた鏡面の傾きデータにもとづいて鏡面の変形を推定する装置において、処理を高速化しうるものを得る。【構成】 各結像点と基準となる各点との位置の差は、撮像装置14から演算装置15に与えられる。係数決定部23は、測定値出力部21が出力した傾きデータと傾き関数出力部22が出力した傾きの展開関数の各領域(マイクロレンズアレイ13の各レンズに対応した鏡面の領域)の平均値とから、展開関数の係数(傾きの展開関数の係数でもある。)を推定する。

Claim (excerpt)：

鏡面で反射された光を平行光線に変換するコリメータと、このコリメータから出力されたに平行光線を結像面に結像させる複数のレンズからなるマイクロレンズアレイと、前記結像面に設置された撮像装置と、この撮像装置による映像における各結像の位置と前記鏡面が変形していない場合の各結像の位置との差にもとづいて前記鏡面の変形を算出する演算装置とを備えた鏡面形状測定装置において、前記演算装置は、前記映像における結像の位置の差から、鏡面の各領域に対応した鏡面の傾きの測定データを算出する測定値出力部と、前記鏡面の傾きを展開する各関数の前記各領域における平均値を算出する傾き関数値算出部と、前記測定データと各領域における平均値とを用いて、前記傾きを展開する関数の各係数を推定する係数決定部と、係数決定部によって定められた係数から前記鏡面の変形を決定する鏡面変形出力部とを備えたことを特徴とする鏡面形状測定装置。

IPC (3)：

G01B 11/16 ,  G01B 11/24 ,  G01M 11/00