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J-GLOBAL ID：200903099000008267
表面粗化方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鴨田 朝雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993346853
Publication number (International publication number)：1995188947
Application date： Dec. 27, 1993
Publication date： Jul. 25, 1995
Summary：
【要約】【目的】 汎用性のあるエッチング法による接着表面の粗化方法を提供する。【構成】 エッチングによって表面に微細な凹凸を形成する工程において、エッチングを行う表面に達する微細なピンホールを有するエッチングレジスト層を形成した後、ピンホールにおける露出部をエッチングする。
Claim (excerpt)：
エッチングによって表面に微細な凹凸を形成する工程において、エッチングを行う表面に達する微細なピンホールを有するエッチングレジスト層を形成した後、ピンホールにおける露出部をエッチングすることからなる表面粗化方法。
IPC (4)：
C23F 1/04
, C23C 18/22
, C08J 7/00 304
, H05K 3/18
