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J-GLOBAL ID：200903099018266093
フッ化物結晶からなる真空紫外領域用光学部材および光学部材用コーティング材
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
後藤 洋介 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001031172
Publication number (International publication number)：2002228802
Application date： Feb. 07, 2001
Publication date： Aug. 14, 2002
Summary：
【要約】【課題】 潮解性、劈開性が低く、高エネルギー光を照射した場合でも、高い耐久性を有する真空紫外領域用光学部材を提供すること。【解決手段】 式BaLiF3で表記されるフッ化物結晶から真空紫外領域用光学部材を作る。このフッ化物結晶から光学部材用コーティング材を作ることもできる。
Claim (excerpt)：
式BaLiF3で表記される結晶からなる真空紫外領域用光学部材。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (4)：
4G077AA02
, 4G077BE02
, 4G077CF10
, 4G077HA01
