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J-GLOBAL ID：200903099022996799

異物検査装置およびこれを備えた露光装置

Inventor： 北野 博 ,  柳原 政光
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 志賀 正武 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999341473
Publication number (International publication number)：2001159613
Application date： Nov. 30, 1999
Publication date： Jun. 12, 2001
Summary：

【要約】【課題】 異物検査装置およびこれを備えた露光装置において、異物検査の際に検査機構の位置調整が不要であるとともに、検査範囲全てで良好に高さ検出を行うこと。【解決手段】 位置検出機構11が、被検査板Rの他側で被検査板に遮られることなく通過または反射した第2の検査光Lの一部を受光する位置センサ部12を備え、該位置センサ部の受光状態に基づいて被検査板の位置を検出するので、従来のようにアーム側にCrガラス等の基準を設定しその位置調整を行う必要がなく、被検査板自体の位置を直接検出できるとともに、被検査板の面上全体を検査可能である。

Claim (excerpt)：

被検査板の面上における異物の有無及び位置を検査する装置であって、前記被検査板の面上に一側から第1の検査光および第2の検査光を照射させる照射機構と、前記第1の検査光が前記被検査板の面上の異物に照射されて生じた散乱光を受光し異物の有無および位置を検出する異物センサ部と、前記被検査板の位置を検出する位置検出機構とを備え、該位置検出機構は、前記被検査板の他側で被検査板に遮られることなく通過または反射した前記第2の検査光の一部を受光する位置センサ部を備え、該位置センサ部の受光状態に基づいて前記被検査板の位置を検出することを特徴とする異物検査装置。

IPC (4)：

G01N 21/956 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/66

FI (4)：

G01N 21/956 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/66 J ,  H01L 21/30 502 Z

F-Term (28)：

2G051AA51 ,  2G051AA56 ,  2G051AB01 ,  2G051BA10 ,  2G051CA03 ,  2G051CB05 ,  2G051DA08 ,  4M106AA01 ,  4M106BA05 ,  4M106CA42 ,  4M106DB01 ,  4M106DB08 ,  4M106DB11 ,  4M106DJ27 ,  5F046AA18 ,  5F046BA05 ,  5F046CB17 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC05 ,  5F046CC18 ,  5F046CD02 ,  5F046DA05 ,  5F046DA06 ,  5F046DB05 ,  5F046DB14 ,  5F046DC04