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J-GLOBAL ID：200903099039624216

走査型力顕微鏡

Inventor： 菊川 敦 ,  保坂 純男 ,  本多 幸雄 ,  小柳 肇
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992104276
Publication number (International publication number)：1993296761
Application date： Apr. 23, 1992
Publication date： Nov. 09, 1993
Summary：

【要約】【構成】 カンチレバー1の変位検出手段として光てこ方式を用い、変位検出回路と可変利得アンプ23と励振子5で発振回路を構成する。この発振回路は、基準信号発生器31で周波数が安定化されている。z軸アクチュエータ6は、カンチレバーの尖端と試料2の距離を変化させることにより発振周波数を調整する。【効果】 出力の雑音を低減でき、低振幅下でも安定した発振が可能で、その結果、空間分解能を向上させることができる。

Claim (excerpt)：

尖端を有するばね状のカンチレバーと、前記カンチレバーの尖端を試料表面に沿って走査する手段と、前記カンチレバーの変位を検出する手段と、前記カンチレバーの変位信号で前記カンチレバーを励振するための手段と、周波数及び位相が安定な基準発振器と、前記基準発振器の出力信号の位相と前記カンチレバーの変位検出手段の出力信号の位相差を検出する手段と、前記カンチレバーと試料表面との距離を前記基準発振器の出力信号とカンチレバーの変位信号との位相差を極小にするように調整する手段と、前記位相差を走査位置毎に表示する手段とを含むことを特徴とする走査型力顕微鏡。

IPC (2)：

G01B 21/30 ,  H01J 37/28