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J-GLOBAL ID：200903099051570334

液晶表示パネルおよびその製造方法

Inventor： 仲吉 良彰 ,  鈴木 伸之 ,  小野 記久雄
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 秋田 収喜
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996031865
Publication number (International publication number)：1997230373
Application date： Feb. 20, 1996
Publication date： Sep. 05, 1997
Summary：

【要約】【課題】 選択エッチングの際の残存物による電気的短絡等を防止する。【解決手段】 透明基板上に形成された、ゲートライン、このゲートラインと絶縁膜を介して交差して形成されたデータライン、前記ゲートラインの一部領域にて前記絶縁膜をゲート絶縁膜とする薄膜トランジスタ、この薄膜トランジスタを介して前記データラインからの映像信号が供給される画素電極を少なくとも備える液晶表示パネルにおいて、データラインと画素電極との間の半導体を形成した後に、前記絶縁膜あるいは透明基板上で少なくとも2回以上のエッチング除去がなされる工程を備える。

Claim (excerpt)：

透明基板上に形成された、ゲートライン、このゲートラインと絶縁膜を介して交差して形成されたデータライン、前記ゲートラインの一部領域にて前記絶縁膜をゲート絶縁膜とする薄膜トランジスタ、この薄膜トランジスタを介して前記データラインからの映像信号が供給される画素電極を少なくとも備える液晶表示パネルにおいて、ゲートラインを被覆するゲート絶縁膜の平面パターンがゲートラインより幅広く、ゲートラインに対してほぼ平行な形状であることを特徴とする液晶表示パネル。

IPC (3)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/1343 ,  H01L 29/786

FI (3)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/1343 ,  H01L 29/78 612 C